无尘车间是指将必定空间范围内空气中的微粒子、有害空气等物排除,并将室内温度、洁净度、室内空气压力、气流速度与散布、噪音振荡及照明、静电控制在请求范围内,而所给予格外规划的车间。也就是说不管外在环境空气条件如何改变,其室内均能确保所设定请求的洁净度、温湿度及空气新鲜度,风压等性能参数稳定。无尘车间的温湿度主要是根据您的加工技术请求来断定,在满意加工技术的条件下,应当考虑人的感。跟着空气洁净度请求的进步,技术对温湿度的请求也越来越高,有必要达到必定的温湿度等级。
例如在大规模集成电路出产的光刻曝光技术中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热胀大系数的差请求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就导致了0。24um线性胀大,所以有必要有±0。1度的恒温,同时请求湿度值通常较低,因为人出汗今后,对商品将有污染,格外是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超越25度。湿度过高发生的问题更多。相对湿度超越55%时,冷却水管壁上会结露,假如发生在精细设备或电路中,就会导致各种事故。相对湿度在50%时易生锈,使用金井科技车间加湿机,深圳加湿机,惠州加湿机设备厂家。
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